河南尚宇新能源股份有限该公司自主研发的三氯氢硅—废硅粉回收利用技术日前获得国家发明专利授权。该技术首次利用高效多级旋风分离技术回收未反应完全的废硅粉，并将其重新加入反应系统。应用该技术，硅粉单耗由原来的0.26~0.28吨降低到0.24吨，每年可节约费用400余万元。

  在三氯氢硅生产过程中产生废硅粉的问题困扰企业已久，目前国内多数企业都未配套安装废硅粉回收装置，一般将其直接排往淋洗塔。少数厂家将废硅粉排入大容积存灰罐，再由人工定期排出。这些传统工艺既浪费又污染环境。